中环真空设备有限公司

       罗茨真空泵的高频放电就是当两个电极间有高频交变电场存在时所引起的放电形式。当放电管两端加上交变电压时，气体中的电子和正离子便在交变电场作用下产生附加的谐振动。因正离子质量比电子大得多，谐振动振幅很小。当频率较低，谐振动的振幅远大于两极间的距离时，电子在每个半周期中都经过崩溃、放电、熄灭的全过程，这时的放电情况和直流情况一样。当频率较高时，谐振动的振幅远小于两极间的距离时，由于电子不断地来回运动，其电离能力将大大加强。因电子谐振动的振幅很小，进人电极的电子数量将大大减少。这样保证气体自持放电的电子将不再由电极产生的二次电子来提供，而是由电子来回运动时由电离产生的电子来提供。这时虽然也有少量正离子、光子轰击电极产生二次电子，但由于两个电极的极性不断发生变化，二次电子的振动方向有时与进人电极的电子流方向相同，有时相反。因此它对保证自持条件并不有利。